תיאור
מטיל סיליקון קריסטל יחידis בדרך כלל גדל כמטיל גלילי גדול על ידי טכנולוגיות סימום ומשיכת מדויקות Czochralski CZ, Czochralski MCZ המושרה על ידי שדה מגנטי ושיטות FZ Floating Zone.שיטת CZ היא הנפוצה ביותר לצמיחת גבישי סיליקון של מטילי גליליים גדולים בקטרים של עד 300 מ"מ המשמשים בתעשיית האלקטרוניקה לייצור התקני מוליכים למחצה.שיטת MCZ היא וריאציה של שיטת CZ שבה שדה מגנטי שנוצר על ידי אלקטרומגנט, שיכול להשיג ריכוז חמצן נמוך יחסית, ריכוז זיהומים נמוך יותר, נקע נמוך יותר ושונות התנגדות אחידה.שיטת FZ מקלה על השגת התנגדות גבוהה מעל 1000 Ω-cm וקריסטל בטוהר גבוה עם תכולת חמצן נמוכה.
מְסִירָה
מטיל סיליקון קריסטל יחיד CZ, MCZ, FZ או FZ NTD עם מוליכות מסוג n או מסוג p ב-Western Minmetals (SC) Corporation ניתן לספק בגודל של 50 מ"מ, 75 מ"מ, 100 מ"מ, 125 מ"מ, 150 מ"מ וקוטר 200 מ"מ (2, 3) , 4, 6 ו-8 אינץ'), כיוון <100>, <110>, <111> עם משטח מקורקע באריזה של שקית ניילון בפנים עם קופסת קרטון בחוץ, או כמפרט מותאם אישית כדי להגיע לפתרון המושלם.
.
מפרט טכני
מטיל סיליקון קריסטל יחיד CZ, MCZ, FZ או FZ NTDעם מוליכות מסוג n או מסוג p ב-Western Minmetals (SC) Corporation ניתן לספק בגודל של 50 מ"מ, 75 מ"מ, 100 מ"מ, 125 מ"מ, 150 מ"מ ו-200 מ"מ קוטר (2, 3, 4, 6 ו-8 אינץ'), כיוון <100 >, <110>, <111> עם משטח מקורקע באריזה של שקית ניילון בפנים עם קופסא קרטון בחוץ, או כמפרט מותאם אישית כדי להגיע לפתרון המושלם.
לא. | פריטים | מפרט סטנדרטי | |
1 | גודל | 2", 3", 4", 5", 6", 8", 9.5", 10", 12" | |
2 | קוטר מ"מ | 50.8-241.3, או לפי הצורך | |
3 | שיטת צמיחה | CZ, MCZ, FZ, FZ-NTD | |
4 | סוג מוליכות | מסוג P / בורון מסומם, מסוג N / פוספיד מסומם או לא מסומם | |
5 | אורך מ"מ | ≥180 או לפי הצורך | |
6 | נטייה | <100>, <110>, <111> | |
7 | התנגדות Ω-cm | כנדרש | |
8 | תכולת פחמן a/cm3 | ≤5E16 או לפי הצורך | |
9 | תכולת חמצן a/cm3 | ≤1E18 או לפי הצורך | |
10 | זיהום מתכת a/cm3 | <5E10 (Cu, Cr, Fe, Ni) או <3E10 (Al, Ca, Na, K, Zn) | |
11 | אֲרִיזָה | שקית פלסטיק בפנים, מארז דיקט או קופסת קרטון בחוץ. |
סֵמֶל | Si |
מספר אטומי | 14 |
משקל אטומי | 28.09 |
קטגוריית אלמנטים | מטאלואיד |
קבוצה, תקופה, בלוק | 14, 3, P |
מבנה קריסטל | יהלום |
צֶבַע | אפור כהה |
נקודת המסה | 1414°C, 1687.15 K |
נקודת רתיחה | 3265°C, 3538.15 K |
צפיפות ב-300K | 2.329 גרם/ס"מ3 |
התנגדות פנימית | 3.2E5 Ω-ס"מ |
מספר CAS | 7440-21-3 |
מספר EC | 231-130-8 |
מטיל סיליקון קריסטל יחיד, כאשר גדל לחלוטין והוסמכה ההתנגדות שלו, תכולת הטומאה, שלמות הגבישים, הגודל והמשקל שלו, מקורקעת באמצעות גלגלי יהלום כדי להפוך אותו לגליל מושלם לקוטר הנכון, ולאחר מכן עובר תהליך תחריט כדי להסיר את הפגמים המכניים שנותרו בתהליך ההשחזה. .לאחר מכן המטיל הגלילי נחתך לבלוקים באורך מסוים, והוא מקבל חריץ וראשוני או משני שטוח על ידי מערכות אוטומטיות לטיפול בפרוסות לצורך יישור לזיהוי הכיוון הקריסטלוגרפי והמוליכות לפני תהליך חיתוך פרוסות במורד הזרם.
טיפים לרכש
מטיל סיליקון קריסטל יחיד